Языки

  • English
  • Русский
МЕНЮ

ПРОИЗВОДСТВО НЕЙТРОННО-ЛЕГИРОВАННОГО
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
МЕТОДОМ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

На базе АО «НИИП» создано единственное в РФ производство высокочистого монокристаллического кремния методом бестигельной зонной плавки (БЗП) с последующим нейтронно-трансмутационным легированием. 

В результате выращивания методом БЗП монокристаллического кремния в слитках и последующего ядерного (нейтронно-трансмутационного) легирования примеси не вводятся в кремний, а образуются из атомов самого кремния под воздействием облучением нейтронами, что позволяет получать монокристаллический кремний с заданными электрофизическими параметрами, отвечающий современным требованиям силовой электроники и электроэнергетики по однородности структуры, стабильности и воспроизводимости свойств. 

Монокристаллический кремний высокой чистоты широко применяется в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
 

Структура цеха по производству кремниевой продукции

  Начальник цеха 
Улимов Андрей Викторович
+7 (495) 276-53-18 
avulimov@niipribor.ru
 
  Заместитель начальника цеха
Рябова Наталья Александровна
naryabova@niipribor.ru

Услуги

 
  • Производство монокристаллического кремния в соответствии с требованиями технических условий и с учетом требований заказчика.
  • Производство и реализация различных марок кремния, в т.ч. высокоомных (ЗКОФ, КОФ, КБО-1, КБО-2, КБО-4, КБО-6, БДМ, КБ-10, КБ-12):
    • кристаллографическая ориентация <111>, <100>;
    • концентрация оптически активного кислорода не более 2,5∙1016 см-3 
  • Производительность цеха по производству кремния составляет от 2,5 до 4,5 тонны в год в зависимости от диаметра выращиваемых монокристаллов.
  • Производственные мощности цеха – установки TFZ-1435, FZ-1502, FZ-30.
  •  

Геометрия и характеристики изделий

  • Диаметр слитка – от 40 до 125 мм.
  • Длина слитка – от 300 до 1000 мм.
  • Диапазон значений удельного электрического сопротивления (УЭС) – 40-800 Ом·см.
  • Относительное отклонение средних значений УЭС от номинального значения (по ТУ48-4-443-83) – не более 12 %.
  • Разброс УЭС на торцах слитков в результате облучения от номинального значения – ±6 %.
  • Время жизни неосновных носителей заряда – не менее 150-250 мкс.
     
 
 
 
  • 140080, Московская обл., г. Лыткарино
  • промзона Тураево, строение 8.
  • +7 (495) 552-39-31
  • +7 (495) 552-39-40
  • risi@niipribor.ru