Языки

  • English
  • Русский
МЕНЮ

ПРОИЗВОДСТВО НЕЙТРОННО-ЛЕГИРОВАННОГО
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
МЕТОДОМ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

На базе АО «НИИП» создано единственное в РФ производство высокочистого монокристаллического кремния методом бестигельной зонной плавки (БЗП) с последующим нейтронно-трансмутационным легированием. 

В результате выращивания методом БЗП монокристаллического кремния в слитках и последующего ядерного (нейтронно-трансмутационного) легирования примеси не вводятся в кремний, а образуются из атомов самого кремния под воздействием облучением нейтронами, что позволяет получать монокристаллический кремний с заданными электрофизическими параметрами, отвечающий современным требованиям силовой электроники и электроэнергетики по однородности структуры, стабильности и воспроизводимости свойств. 

Монокристаллический кремний высокой чистоты широко применяется в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
 

Структура цеха по производству кремниевой продукции

  Начальник цеха 
Улимов Андрей Викторович
+7 (495) 663-90-95, доб. 42-55, 43-55
AVUlimov@niipribor.ru
 
Заместитель начальника цеха
Рябова Наталья Алексеевна
+7 (495) 663-90-95, доб. 40-45
NARyabova@niipribor.ru

Услуги

 
  • Производство монокристаллического кремния в соответствии с требованиями технических условий и с учетом требований заказчика.
  • Производство и реализация различных марок кремния, в т.ч. высокоомных (ЗКОФ, КОФ, КБО-1, КБО-2, КБО-4, КБО-6, БДМ, КБ-10, КБ-12):
    • кристаллографическая ориентация <111>, <100>;
    • концентрация оптически активного кислорода не более 2,5∙1016 см-3 
  • Производительность цеха по производству кремния составляет от 2,5 до 4,5 тонны в год в зависимости от диаметра выращиваемых монокристаллов.
  • Производственные мощности цеха – установки TFZ-1435, FZ-1502, FZ-30.
  •  

Геометрия и характеристики изделий

  • Диаметр слитка – от 40 до 125 мм.
  • Длина слитка – от 300 до 1000 мм.
  • Диапазон значений удельного электрического сопротивления (УЭС) – 40-800 Ом·см.
  • Относительное отклонение средних значений УЭС от номинального значения (по ТУ48-4-443-83) – не более 12 %.
  • Разброс УЭС на торцах слитков в результате облучения от номинального значения – ±6 %.
  • Время жизни неосновных носителей заряда – не менее 150-250 мкс.
     
 

ТМЦ на реализацию



Кремний монокристаллический   
Наименование  Масса, кг
КБО-1ДМ/60-Е3(100) 1,166
КБО-1ДМ/60-Е4(100) 0,645
КБО-4ДМ/76-Е3 3,986
КОФ 100-160 1,730
КОФ 100-220 7,180
КОФ 103-35 3,990
КОФ 103-30 1,654
КОФ 104-35 1,430
КОФ 125-160 3,890
КОФ 44-25 31,000
КОФ 44-40 10,305
КОФ 44-65 0,555
КОФ 44-70 41,525
КОФ 44-85 8,270
КОФ 44-100  1,674
КОФ 44-20 33,815
КОФ 51-120 2,160
КОФ 51-170 1,130
КОФ 54-130 0,615
КОФ 54-60 3,245
КОФ 58 (102-150) 1,235
КОФ 58-170 0,594
КОФ 58-83 1,580
КОФ 60-100 18,768
КОФ 60-140 26,576
КОФ 60-70 12,642
КОФ 76-100 3,070
КОФ 76-32 2,734
КОФ 76-80 2,433
КОФ 76-90 10,710
КОФ 78-100 1,068
КОФ 78-250 0,515
КОФ 78-50 0,785
КОФ 78-90 11,239
КПД 1  8,49   
КПД 1-Г1  4,505   
КОФ 103 долегир.  3,310   
КОФ 105 долегир. 12,939
КОФ 44 долегир. 16,800
КОФ 55 долегир. 1,380
Бездислокационные монокристаллы кремния 9,345
ЗКОФ 100 6,758
ЗКОФ 102  3,706
ЗКОФ 150 6,460
ЗКОФ 151 3,170
ЗКОФ 152 14,710
ЗКОФ 40 0,190
ЗКОФ 54 1,840
ЗКОФ-КЭС 84 7,805
Монокремний ЗКОФ 52,50
Монокремний низкоомный ЗКОФ 12,03
   
Кремний поликристаллический  
Наименование  Масса, кг
Прутки 7,000
Прутки-стержни кремниевые 28,000
Обороты FZ 308,384
   
Вспомогательные материалы для производства 
кремниевой продукции  
Наименование  Кол - во , ед. изм.
Вкладыш из стеклотекстоли 131 шт
Жидкость для очистки пластин 37,86 кг
Карбид кремния 500В 175,00 кг
Микрошлифпорошок F-400 0,825 кг
Тигли кварцевые 16(Китай) 21 шт
Тигли кварцевые 1612 7 шт
Тигли кварцевые 161302 5 шт 
Тигли ТКС-152 h-66 20 шт
 

Система менеджмента качества

Цели в области качества
Политика в области качества

  • 140080, Московская обл., г. Лыткарино
  • промзона Тураево, строение 8.
  • +7 (495) 663-90-95
  • +7 (495) 663-90-74
  • risi@niipribor.ru